Tài liệu Thư viện số

Danh mục TaiLieu.VN

Giáo trình Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử: Phần 1

Giáo trình "Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử" Phần 1 cung cấp cho người học những kiến thức như vấn đề tỷ lệ kích thước; phương pháp khắc bức xạ; kỹ thuật khắc khô; kỹ thuật chế tạo màng mỏng. Mời các bạn cùng tham khảo!

Từ khóa: Giáo trình Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử, Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử, Hệ thống cơ điện tử, Vũ Ngọc Hùng, Phương pháp khắc tia X, Kỹ thuật khắc khô, Kỹ thuật khắc ion hoạt hoá, Chế tạo màng mỏng

117 p tvs_stc 17/04/2024 8 0

Bình luận